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優(yōu)可發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體制造潔凈室FFU過濾膜 二維碼
在半導(dǎo)體制造潔凈室中,FFU過濾膜起著十分重要的作用,用于提供高度潔凈的空氣環(huán)境。半導(dǎo)體制造對空氣質(zhì)量的要求非常高,因此需要使用特別設(shè)計(jì)和高過濾的FFU過濾膜。 以下是常見用于半導(dǎo)體制造潔凈室的FFU過濾膜: 1. HEPA過濾器:HEPA(顆??諝猓┻^濾器是比較常見的選擇之一。它具有高過濾效果的顆粒物過濾效率,通??梢匀?/span>掉直徑為0.3微米的顆粒物,并提供99.97%以上的過濾效率。HEPA過濾器對于控制半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生的微小顆粒非常有用。 2. ULPA過濾器:ULPA(超低滲透性空氣)過濾器是一種級(jí)別較高的過濾器,在半導(dǎo)體制造中也被廣泛采用。ULPA過濾器具有高的過濾效率,可以去掉直徑為0.1微米的顆粒物,并提供99.9999%以上的過濾效率。它們能夠很好地去掉微塵,確保潔凈室內(nèi)部的極低顆粒水平。 3. 氣體過濾器:除了顆粒物過濾,半導(dǎo)體制造潔凈室還需要處理一些氣態(tài)污染物。因此,在FFU中可能會(huì)使用氣體過濾器來去掉潔凈室空氣中的有害氣體或化學(xué)物質(zhì)。這些過濾器通常采用吸附劑或催化劑,能夠很好去掉揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOCs)、酸性氣體、堿性氣體等。 在選擇半導(dǎo)體制造潔凈室的FFU過濾膜時(shí),需要根據(jù)具體的環(huán)境要求和顆粒大小范圍進(jìn)行選擇。同時(shí),定期更換和維護(hù)過濾膜也是確保潔凈室持續(xù)運(yùn)行的重要措施。可以參考相關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和指南,以確保選用合適的過濾膜。歡迎有意者進(jìn)入優(yōu)可發(fā)店鋪聯(lián)系我們。 |