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優(yōu)可發(fā)聚四氟乙烯多孔膜在半導(dǎo)體中的應(yīng)用

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在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,芯片制造等核心環(huán)節(jié)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求近乎苛刻。半導(dǎo)體潔凈車(chē)間需維持很高的標(biāo)準(zhǔn)空氣質(zhì)量,才能確保芯片良品率,避免因污染導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷。優(yōu)可發(fā)聚四氟乙烯(PTFE)多孔膜憑借優(yōu)異性能,成為保障半導(dǎo)體潔凈車(chē)間環(huán)境的理想材料。


泡點(diǎn)濾材.png


優(yōu)可發(fā)聚四氟乙烯多孔膜擁有極其細(xì)密且均勻的孔徑分布,平均孔徑可達(dá) 0.2-0.5μm,能夠攔截空氣中的微小塵埃粒子、煙霧、微生物以及各類(lèi)有害污染物。其對(duì) 0.3μm 以上的顆粒過(guò)濾效率高達(dá) 99.999%,能滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)所要求的 ISO 5 級(jí)甚至更高級(jí)別的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。例如,在光刻工藝中,即使微小如 1μm 的顆粒附著在芯片表面,也可能導(dǎo)致電路短路或斷路,影響芯片性能。優(yōu)可發(fā)聚四氟乙烯多孔膜可將此類(lèi)顆粒阻擋在車(chē)間之外,為光刻等精密制程提供純凈的空氣環(huán)境,大大降低產(chǎn)品瑕疵率,提升芯片制造的質(zhì)量與穩(wěn)定性。

此外,半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程常伴有化學(xué)氣相沉積、蝕刻等工藝,會(huì)產(chǎn)生腐蝕性氣體。優(yōu)可發(fā)聚四氟乙烯多孔膜化學(xué)穩(wěn)定性很好,可抵御氫氟酸、王水等強(qiáng)酸以及強(qiáng)堿的侵蝕,不會(huì)因接觸這些腐蝕性物質(zhì)而發(fā)生老化、變形或性能下降,確保在復(fù)雜化學(xué)環(huán)境中始終穩(wěn)定運(yùn)行。而且,該多孔膜具備良好的透性能,在高過(guò)濾的同時(shí),能保證車(chē)間內(nèi)空氣的正常流通,維持適宜的氣壓、溫濕度等環(huán)境參數(shù),滿(mǎn)足半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)環(huán)境的嚴(yán)格要求。

在實(shí)際應(yīng)用中,優(yōu)可發(fā)聚四氟乙烯多孔膜常被制成空氣過(guò)濾器,安裝于潔凈車(chē)間的通風(fēng)系統(tǒng)或墻壁風(fēng)口處。通過(guò)層層過(guò)濾,源源不斷地為車(chē)間輸送潔凈空氣,全面守護(hù)半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的生產(chǎn)環(huán)境,助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度、更高性能的方向發(fā)展。有意者歡迎進(jìn)入?優(yōu)可發(fā)店鋪?咨詢(xún)!???